等离子清洗机使用氩气作为工艺气体的主要作用

等离子清洗机会用到多种工艺气体，做表面清洗和活化通常会用到氧气、氢气、氮气和压缩空气这些工艺气体外，但根据工艺要求不同还会用到氩气。那么为什么要用到这种气体，它在等离子清洗机主要作用是什么呢？今天我们就为大家分享一下氩气在真空等离子清洗机中的应用知识，供大家参考。

1 概述

氩气简称氩，英文名Argon，化学式为 Ar，是一种无色无臭的惰性气体，通过高压气瓶运输和存储，在工业中主要应用于金属的电弧焊接和切割保护。

氩气是一种惰性气体，电离后产生的离子体不会与基材发生化学反应，在等离子清洗中主要被应用于基材表面的物理清洗及表面粗化，最大的特点就是在表面清洗中不会造成精密电子器件的表面氧化。正因如此，氩等离子清洗机在半导体、微电子、晶圆制造等行业被广泛应用。

2 辉光放电颜色

氩气在真空等离子清洗机中被电离所产生的等离子体呈暗红色。在相同的放电环境下，氢气和氮气所产生的等离子体颜色都是呈红色，但氩等离子体的亮度会低于氮气且高于氢气，还是比较好区分的。

3 应用介绍

① 表面清洗

在晶圆、玻璃等产品的表面Particle去除的工艺中，通常都是采用Ar等离子体对表面Particle进行轰击，以达到Particle被打散、松动（与基材表面脱离）的效果，再配合超声波清洗或离心清洗等工艺，将表面的Particle进行去除。特别是在在半导体封装工艺中，完成打线工艺后为防止导线氧化，都是采用氩等离子体或氩氢等离子体进行表面清洗。