真空等离子清洗机的气路控制竟然有这么多的学问？

真空等离子清洗机的工艺气体是工艺参数中的重要组成部分，其流量大小和精准度对等离子处理影响可不小！那么真空等离子清洗机如何实现各功能气路的控制及工艺气体稳定呢？今天我们就为大家介绍一下，关于真空等离子清洗机气路控制各组件的功能及基本原理，供大家参考。

1 真空等离子清洗机气路控制部分的主要组件

1-1 气体调压及处理组件

真空等离子清洗机通入的气体通常都是洁净度相对较高的工艺气体，所以气体调压及处理组件基本结构多为调压阀和过滤器组成。其主要作用是将气压控制在所需压力范围内及过滤气体中可能含有的杂质，以保证后端流量计等组件的运行稳定性和气体洁净度。目前真空等离子清洗机的常用的气体调压及处理组件按结构特点分为组合式和一体式两种，下图所示为组合式。

1-2 带报警输出的减压表

为实时监控等离子清洗机的气体压力是否符合工作要求，在气体调压阀上都会安装带报警输出功能的压力表，在压力过低时输出报警信号，以保证设备和正常运行及工艺气体的稳定。带报警输出的减压表分为指针式和数显示两种，如下图所示为指针式。

1-3 真空电磁阀

真空等离子清洗机在工作时需维持工艺要求的真空度及真空腔体的密封，因此其连接腔体的各气路阀门必须满足真空密封要求，我们应该选择相匹配的带气路控制的真空电磁阀。真空等离子清洗机为保证运行稳定性，都是一个真空电磁阀控制一路气体，所选用的真空电磁阀都是两位两通式，如下图所示。

1-4 流量计

真空等离子清洗机的进气量是由流量计所控制的，其原理是通过调节通入气体阀门的大小来实现通流量的控制，等离子清洗机使用的流量计分为气体浮子流量计和质量流量控制器（MFC）两种。