射频大气压辉光放电的典型结构和产生办法是什么样的？

当射流等离子体进行材料处理时，被处理的材料通常位于发生器喷嘴出口下游的射流区。一方面，等离子体工作在开放的大气环境中，另一方面，等离子体工作气体处于流动状态，当遇到被处理材料时形成冲击射流。处理的模型如下图所示。其实，射频等离子体源在微生物诱变育种上应用较多，其运用中不仅需要等离子体射流具有较低的气体温度水平，而且需要在一定程度上控制活性粒子的种类和浓度，那么射频大气压辉光放电的典型结构、影响因素、产生办法都有哪些呢？

1 射频等离子体发生器的典型结构

产生射频等离子体的发生器有平板型和同轴型两种典型结构，下图分别为平板型和同轴型射频等离子体发生器。该发生器采用裸露的水冷金属（如铜、铝、不锈钢）电极，由射频电源驱动，通常情况下表现出容性放电的特征。在大气压条件下，由于大部分气体的临界击穿场强非常高。

因此，一方面，在大气压条件下产生气体击穿需要相对较高的外加电压；另一方面，即使在较高的外加电压下产生了气体的击穿过程，在如此高的电场强度下剧烈的电子雪崩效应也会使放电很快进入等离子体局部温度在数千度甚至上万度的丝状放电或电弧放电模式，而很难获得温度接近于室温的均匀的辉光放电等离子体。