等离子清洗机中的等离子体具有哪些特性？

等离子清洗机中产生的等离子体有着独特的物理和化学特性，可以用于等离子清洗、等离子活化、等离子刻蚀和等离子沉积等工艺。具体有哪些特性呢？

1、电子温度高，粒子动能大。

2、作为带电粒子的聚集态，具有类似于金属的导电性能。

3、化学性质活泼，比较容易发生化学反应，例如等离子体去除有机物。

4、发光特性，可以做各种光源。例如霓虹灯、水银日光灯都是等离子体发光的现象。

等离子清洗机中产生的等离子体之所具有以上特性，是因为等离子体内部电子和气体分子间的碰撞。我们以下图所示的电子碰撞双原子分子XY为例进行说明。若碰撞能量小，则会发生弹性碰撞，电子的动能几乎不会改变。如果碰撞能量很高，分子中绕核运动的低能电子，就会在碰撞中获得足够高的能量，被激发至离核较远的高能级轨道上运动。

我们把等离子清洗机中这种处于高能级状态的分子称为激发态分子，用XY*表示。激发态分子中的电子从高能级跳回到低能级时，便以发光的形式来释放多余的能量，由于光的频率不同就会让人看到不同的颜色！

若碰撞电子的能量足够高，电子吸收的能量就可以使其脱离核的束缚而成为自由电子，也就是分子发生了电离。电子对分子 XY 的碰撞也可以使之分解成X原子和Y原子（离解）。若用“:”表示分子中的成键电子对，则离解过程可以表示为X:Y→X. .Y; 这就让带有未成对电子（用X和Y旁边的符号·表示）的X，Y就容易发生化学反应，故被称为化学活性种或者基团（radical）。

在等离子清洗机中H，O，CI等游离态的原子和CH3，CF2，SiH3等分子都是基团。为了明确它们不带电荷的性质，我们称之为中性基团，以与电离产生的离子性基团相区别开来。碰撞过程的反应式以及相应的性质和应用见下表：

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