真空等离子清洗机产生的辉光放电有何特点？

真空等离子清洗机，也叫低压等离子清洗机，是一种能产生等离子体并可以利用等离子体对材料进行表面改性的设备。各种工艺气体在低气压状态下被激发电离，散发出不同颜色的光，俗称辉光。今天我们来了解一下辉光放电的特点：

低气压辉光放电区的名称来源于这种等离子体是发光的，产生发光是因为电子能量和电子密度已经高到足可以由激发碰撞产生可见光。典型的水平电极真空（低压）等离子清洗机的电极结构如图1所示

辉光放电所产生的冷等离子体，在等离子体与材料表面相互作用中有着重要的地位，辉光放电一般在低气压（几到105Pa）下进行的.。当选择适当的外电路条件及连续地冷却阴极时，在大气压下也可得到辉光放电。辉光放电的特性参数如表1所示