氧氢氮工艺气体用于等离子清洗机中如何选择？

等离子清洗机是将气体电离产生等离子体对工件进行表面处理，无论是进行清洗还是表面活化，为达到最佳的处理效果我们会选用不同的工艺气体，那么等离子清洗机的常用工艺气体有哪些，又该如何选择呢？今天就为大家分享一下氧气、氢气和氮气的相关基础知识，供大家分享。

等离子清洗机常用的工艺气体有氧气 (Oxygen, O2)、氩气 (Argon, Ar)、氮气 (Nitrogen, N2)、压缩空气 (Compressed Air, CDA)、二氧化碳 (Carbon, CO2)、氢气（hydrogen, H2）、四氟化碳（Carbon tetrafluoride, CF4）等。

1 氧气

氧气是等离子清洗常用的活性气体，属于物理 化学的处理方式，电离后产生的离子体能够对表面进行物理轰击，形成粗糙表面。同时高活性的氧离子能够与被断键后的分子链发生化学反应形成活性基团的亲水表面，达到表面活化的目的；被断键后的有机污染物的元素会与高活性的氧离子发生化学反应，形成CO、CO2、H2O等分子结构脱离表面，达到表面清洗的目的。

氧气主要应用于高分子材料表面活化及有机污染物去除，但不适用于易氧化的金属表面。

真空等离子状态下的氧等离子呈现淡蓝色，部分放电条件下类似白色。放电环境光线比较亮，肉眼观察时可能会出现看不到真空腔体内有放电的情况。

2 氢气