真空等离子清洗机上的罗茨真空泵

在真空等离子清洗机的真空泵组的介绍中，我们提到了罗茨真空泵（Roots-Type Vacuum Pump）是作为组成油式和干式真空泵组的次级泵。罗茨真空泵是根据美国的Roots兄弟发明的罗茨原理而进行设计出的一款真空泵。在一些对真空要求高的等离子清洗机上，我们经常性地会在真空系统上配备罗茨真空泵。那么，今天我们就来介绍一下等离子清洗机上所用到的罗茨真空泵以及罗茨真空泵的注意事项，供大家参考。

1 罗茨真空泵的工作原理及其结构

罗茨真空泵是一种变容式的真空泵，抽速与转速成比例。罗茨真空泵的泵腔内装有2个“8”字形的转子，这两个转子安装在一对平行的轴上，并且这2个转子相互垂直，由一对传动比为1的齿轮来带动，做彼此反向的同步旋转运动。在转子与转子之间，转子与泵壳内壁之间，是仍保持有一定的间隙的，可以实现高转速运行。因此，罗茨真空泵是靠这一对转子同步、反向旋转的推压作用使被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间内，再经排气口排出来实现抽气的真空泵。

罗茨真空泵从两个转子在泵体中所放置的位置来分，主要分成三类：

（一）立式罗茨真空泵：罗茨真空泵两个转子的轴线呈水平安装，但两个转子轴线构成的平面与水平面垂直；

（二）卧式罗茨真空泵：罗茨真空泵两个转子的轴线呈水平安装，且两个转子的轴线构成的平面成水平方向；

（三）竖轴式罗茨真空泵：罗茨真空泵两个转子轴线与水平面垂直安装。

罗茨真空泵在运行当中会产生热量，所以我们通常会给罗茨真空泵配冷却装置。真空等离子清洗机中的罗茨真空泵所用的冷却装置常规的有3种，分别是空气冷却、油冷却以及水冷却。