等离子清洗机是如何达到清洗的效果

等离子清洗机在现在的工业生产中起到很重要的作用，现在等离子清洗机在很多企业中都是不可缺少的清洗设备。等离子清洗不需要添加任何溶剂，且无有害物质产生，也通常被叫做环保型的干式清洗，那么等离子清洗机是如何达到清洗的效果呢？

等离子体清洗原理：通过化学或物理作用对工件表面进行处理，实现分子水平的污染物去除（一般厚度为几个～几十个nm）。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺。按照清洗原理可以分为：物理清洗和化学清洗。

物理清洗：表面作用以物理反应为主的等离子体清洗，也叫溅射腐蚀（SPE）。我们以Ar来说明等离子清洗机的化学反应。

例：Ar＋e- →Ar＋＋2e- Ar＋＋沾污→挥发性沾污

Ar＋在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能，然后轰击在放在负电极上的被清洗工件表面，工件表面的污染物被轰击后，游离在腔体内部，然后经过真空泵抽出腔体外部。一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物。

化学清洗：表面作用以化学反应为主的等离子体清洗，又称PE。

例1：O2＋e- →2O*＋e- O*＋有机物→CO2＋H2O

从反应式可见，氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。

例2：H2＋e- →2H*＋e- H*＋非挥发性金属氧化物→金属＋H2O

从反应式可见，氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层，通常用于清洁金属表面，在清洗过程中避免金属氧化。

在正常的清洗过程中物理清洗与化学清洗时同时存在的，可以根据具体要求选择不同的工艺气体。

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