真空等离子清洗机的常用气路控制阀有哪些？

气路控制阀种类繁多，等离子清洗机常用的气路控制阀按操作方式可分为手动控制阀和自动控制阀，按控制方式则可分为气动控制阀和电磁阀，如按工作压力又可分为真空阀和低、中压控制阀等。那么真空等离子清洗机常用的气路控制阀有哪些，又该如何选用呢？今天我们就为大家分享一下相关基础知识，供大家参考。

真空等离子清洗机的气路控制主要由工艺气体控制和真空气路控制两大部分组成。工艺气体控制部分常用控制阀有真空电磁阀、止逆阀（止回阀）、气动球阀。真空气路控制部分常用控制阀有高真空气动挡板阀、手动高真空角阀、电磁真空带充气阀。

1 工艺气体控制常用控制阀

（1）真空电磁阀

真空等离子清洗机需保证真空腔体内工作真空度在设计范围内，那么与真空腔体相连的阀门必须满足高真空密封的要求，所以常规的工艺气体控制都是选用真空电磁阀。因工艺气体都是单路控制，所以选用的真空电磁阀为两位两通式。

（2）气动球阀

气动球阀具有高真空密封、耐腐蚀、口径大等特点，所以当真空等离子清洗需通入特殊单体时会被应用于气路控制中。根据实际使用需求选用两通式或三通式。

（3）止逆阀

止逆阀又称止回阀，在气路控制中主要是防止气体回流，起到保护气路控制部分其他器件和防止相互反应气体汇合的作用。使用时需注意其标注的气流方向。下图为典型的真空电磁阀与止逆阀配合使用图示。

2 真空气路控制常用控制阀

（1）高真空气动挡板阀（GDQ）