等离子清洗机的等离子体都包含哪些基本粒子？

我们知道等离子清洗机产生的等离子体属于弱电离的状态，所以低温等离子体放电过程一般存在着六种基本粒子：光子、电子、基态原子(或分子)、激发态原子(或分子)以及正离子和负离子。

1 光子和电子不具备内部结构，光子的能量决定于它的频率v。

2 自由电子的能量由它的运动速度 v决定，从原子分子的内部结构来分析，根据量子力学原理，它们可以处于大量不同能态中的任一个能态，这些能态可按能量的大小排列成能级图。

3 原子的能级图是由原子内部所有的粒子共同决定的，未受扰动的原子和分子一般处于最稳定的基态能级上，但我们感兴趣的只是原子最外层的电子即价电子的能量，因为气体放电过程主要是由这些电子参加的。当价电子从外界获得额外的能量时，它可以跃迁到更高的能级，原子处于激发态。电子处于激发能级上的时间很短(约10-8s)，然后就跃迁回到基态或另一个较低的激发能级，并以光子的形式辐射出激发时获得的额外能量。

也有一些能级(亚稳能级)的寿命比较长，处于这些激发态的原子，如果不与别的粒子或腔壁碰撞，不可能以辐射光子的形式回到低能级，称这些原子所处的激发态为亚稳（见下图）。原子处于亚稳态的寿命可以10ms到几秒，甚至几天。当电子获得的能量超过电离能时，电子就与原子完全脱离而成为自由电子，原子则变成正离子。

4 分子一般是由几个原子组成的，由于这些原子之间的相互影响，分子能级比原子能级复杂，气体分子的激发和电离也与气体原子的激发和电离不同。分子的内能除电子能量外，还有振动能和转动能，这些能级也都是分立的，能级图十分复杂如下图所示。

5 正离子的能态也可用能级图来表示，正离子一次电离的原子的电离能相应于原子产生二次电离所需的能量；负离子是电子附着到某些原子或分子(特别是那些外电子壳层几乎填满的原子或分子)上而形成的。负离子的能量等于原子或分子的基态能量加上电子亲和能.。

6 气体放电中的中性粒子是原子或分子。原子可以是惰性气体原子或金属蒸气原子；分子可以是简单的双原子分子，也可以是复杂的多原子分子。气压的范围跨度从零点几帕到几十万帕，相应粒子密度的变化范围达108数量级。

通常气体放电中的带电粒子是电子和各种离子，放电的电子密度是1016~1020/m3。气体放电中的正离子和负离子与原来的中性粒子不同，例如在空气放电等离子体中所产生的大量离子，其中包括N 、N、O 、O2、NO-、NO2、O2和O3等.。每一种离子都将影响气体放电的电特性，不过电子的作用通常占主导地位。

低温等离子体中存在各种不断运动和碰撞的粒子，它们都属于非弹性碰撞，我们称为等离子体元过程，即等离子体微观过程，如下表

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