真空等离子清洗机的真空泵有几种？该如何选择？

真空泵对真空等离子清洗机的真空度、抽真空时间以及整台设备的处理效果都有重要影响，所以选择合适的真空泵是对一台真空等离子清洗机的品质至关重要。真空等离子清洗机上常用的真空泵分为两种，分别是油式真空泵和干式真空泵。今天我们就来介绍一下等离子清洗机上所用到的真空泵种类和各自特点，以及选择真空泵时的注意点。

1 油式真空泵

油式真空泵是通过油来密封，润滑，降温的真空泵的统称。在真空等离子清洗机上最常用的一种油式真空泵就是旋片式真空泵。

1-1 旋片式真空泵

旋片式真空泵是一种油封式机械真空泵，其主要的部件有泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等。旋片式真空泵有单级和双级两种，等离子清洗机常用的是双级旋片式真空泵，所谓双级旋片式真空泵就是在结构上将两个单级泵串联起来。

旋片式真空泵的泵腔内偏心地装有一个转子，而转子的外圆与泵腔的内表面相切，同时转子槽内装有两个带弹簧的旋片。转子旋转时，靠离心力和弹簧的弹力使旋片顶端与泵腔体内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片式真空泵利用两个旋片将泵腔体分为3个部分，因为转子是偏心安装的，所以被分成的3个部分的空间会随着转子旋转而变化，利用压强差来达到抽气的目的。

旋片式真空泵在真空等离子清洗机上大多数用在小型腔体（80L以下）或者作为真空泵组的前级泵。

旋片式真空泵是一种最常用的真空泵，具有很多的优点：

第一，旋片式真空泵在抽除腔体内的干燥气体的同时，也能抽除一定量的可凝性气体和气水混合物；

第二，结构相对简单，维护保养起来方便；