低温等离子体有哪些基本的应用？

我们知道了等离子清洗机产生的等离子体属于低温等离子体中的冷等离子范畴，那么低温等离子体具有什么特征，在工业上又有哪些应用呢？

低温等离子体在应用上具有两个主要特征：与常规的物理、化学的其他方法相比，等离子体具有更高的温度和能量密度；等离子体能够产生活性成分，从而引发在常规化学反应中不能或难以实现的物理变化和化学反应。活性成分包括紫外和可见光子、电子、离子、自由基团等；高反应性的中性成分，如活性原子（O、F等）；受激原子态；活性分子碎片，如单体。

低温等离子体放电产生具有化学特性的微粒，这个显著的特点被广泛应用于材料表面改性。与传统的工艺相比较，等离子体技术应用的优点包括：

①不会改变基体固有性能，改性作用仅仅发生在表面，约几到几十个纳米，如半导体纳米蚀刻。

②全程干燥的处理方式（干式法），无需溶解剂和水，几乎不产生污染，因而节约能源，降低成本。

③作用时间短，反应速率高，加工对象广，能显著提高产品质量。

④工艺简单、操作方便，生产可控性强，产品一致性好。

⑤属于健康型工艺，对操作人员身体无伤害。

由于有以上这些优点，低温等离子技术被广泛应用于诸多工业领域，而且越来越重要，尤其是低温等离子材料表面处理技术在能源、物质与材料、环境、生化等多个行业起着关键作用。如图所示

低温等离子体技术是涉及表面物理化学、等离子体物理化学、反应工程学、放电技术、真空技术等领域的一门交叉学科。如图所示

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