平行平板等离子清洗机的鞘层模型是什么样子？

等离子清洗机作为等离子体的反应器，尤其是真空（低压）等离子清洗机的等离子体鞘层的研究，一直以来都是重要而活跃方向，特别是可以结合计算机模拟手段的研究方法等离子体粒子模拟（Particle-in-cell computer modeling）对该理论的推进作用是比较显著，今天我们通过简化的图形初步来了解一下平行平板等离子清洗机的鞘层模型。

我们都知道在等离子体与金属、电介质等固体接触的交界区域会形成被称为鞘层（sheath）的空间电荷层（ne≠ni）。通常，鞘层的厚度约为德拜长度的数倍。 具体地讲，由于电子比离子扩散得快，于是容器壁上就会累积负电荷。屏蔽这些负电荷形成的电场，需要在与德拜长度相当的区域内形成正的空间电荷层（正离子鞘层）。

平行平板真空（低压）等离子清洗机的等离子体反应腔体（真空腔体），用一个轴对称的中心馈入头接地的高频电源去激发平行平板电极的等离子体反应腔体（真空腔体），如图1所示