等离子清洗机中的等离子体与普通气体有什么区别？

无论是大气（常压）等离子清洗机，还是真空（低压）等离子清洗机，在对材料进行表面改性的时候都会通入工艺气体，如无水无油的干净压缩空气，有一定纯度要求的氮气、氧气、氩气等，这些气体和等离子体有什么区别呢？

等离子清洗机中通入的普通工艺气体要想转化为等离子体，每个粒子大约需要获得1~30eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，其中的粒子具有较高的活性和能量密度。

但要注意的是，电离的气体不一定是就是等离子体，虽然等离子体和普通气体存在一些共同特点，如它们均满足气体状态方程，但它们却有截然不同的性质，主要的3个方面的区别，现对比如下：

真空（低压）等离子清洗机中的四氟化碳等离子体图片

真空（低压）等离子清洗机中的氧等离子体图片

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