射频微等离子体的结构特点有哪些？

在之前的文章中，对射频大气压辉光放电已经有所介绍，那么，如果在射频放电中，将放电的间隙进一步缩小到微等离子体尺度内，即为1mm左右，乃至到了几百微米的量级，射频微等离子体又会出现哪一些新的特点呢？接下来我们与大家共同探讨。

如下图所示，是在相同的电流下，射频微等离子体鞘层区与等离子体区的分布比例。在给定电流密度0.06A/cm2，当放电间隙逐渐增加，实验与计算均表明鞘层开始逐渐增加，而当极板间隙增加超过500μm后，鞘层厚度几乎保持在215μm不变。而对于等离子体区的厚度，其从100μm到900μm一直在单调增加。

通过上图我们可知，当放电间隙小于500μm时，放电等离子体由传统的辉光放电结构转化为一种鞘层主导的结构，即鞘层成为放电空间的主要部分。同时，数值模拟还表明，在鞘层主导的放电结构中，整个放电空间失去了电中性，呈现为电正性，如下图所示。