6种真空等离子清洗机的电极结构你都见过吗？

真空等离子清洗机的电极结构，是我们研究真空等离子体放电和材料表面改性的核心技术之一。在设计真空等离子清洗机电极结构的时候，都应充分考虑处理对象的形状大小、放置方式和产能需求；产品和材料特性；以及不同处理目的等因素，让电极结构趋于更合理。今天就让我们来讨论一下真空等离子清洗机电极结构，看看会有什么不同。

1 平板水平电极式真空等离子清洗机

这是最常见的电极结构。层与层之间的金属电极面积相等，等离子体放电比较均匀，电极中间可以放托架，把需要处理的产品放置在托架上，层间距可以调整，电极上面可以打孔或加上水冷。除了薄膜、卷状和粉体类的产品或材料不能处理，其它物品都可以。

2 平板垂直电极式真空等离子清洗机

这种电极结构不是简单把水平电极改为垂直就可以，层与层之间的金属电极的间距，等离子体放电的均匀性，电极板的温控，以及产品或材料的放置问题等，都是要充分考虑的。产品的摆放通常采用两种方式：电极之间加上夹子或挂钩来处理物品；在载物车上加夹子和挂钩来处理物品。这种结构的等离子体放电均匀性要好于水平电极的均匀性。

3 车载托架式真空等离子清洗机

所谓车载托架，实际上就是把金属小车直接当电极，主要解决的问题是大物件的摆放和搬运问题，尤其是规格尺寸比较大的产品或材料，例如发动机轴瓦，质量也是比较重，操作人员用小车搬运比较方便和安全。这种电极结构，等离子体放电均匀性是个挑战！

4 平板组合式真空等离子清洗机

类似于LED、PCB、金属引线框架的产品，往往会放在治具里面进行等离子清洗，平板组合式的电极结构应运而生。根据治具和产能大小，可以设计成多个料盒处理空间。这种结构的产能比较高，只是治具需要两边开槽，同时治具中间的产品处理效果不如上下层，等离子体放电均匀性欠缺。

5 柱状垂直式真空等离子清洗机

平板垂直式电极的不足是，当两个电极之间放的产品或材料面积比较大，而且上面没有孔或缝隙时，等离子体是无法形成良好交换回路，表面处理效果会打折扣。采用柱状垂直电极，等离子体放电会集中于每一根电极周围，不会有遮挡现象，处理效果会得到很大提升。

6 卷对卷式真空等离子清洗机

薄膜、卷材类的产品或材料，采用常规的等离子清洗机来处理显然是有难度的，于是便有了收放卷加等离子处理的设备。其电极结构既有水平式，也有柱状式，加上收放卷控制系统。难点是等离子体放电的均匀性，材料收放卷过程纠偏的控制等。

以上真空等离子清洗机的电极结构我们只是从宏观应用层面做了简单介绍，如果想要探究深层次的原因，等离子体产生、运动、碰撞、反应等微观分析机理实际上蕴藏着高深的学问！随着科技的发展，新工艺、新材料提出的不同处理要求，我们会看到更多形态迥异的等离子清洗机电极结构。

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