石英管阻挡等离子清洗机惰性气体放电有哪些基本特性?

时间:2023-02-23来源:佚名

DBD等离子清洗机主要可分为空间放电和沿面放电两种类型,关于这两种放电类型的研究也比较多。今天,我们先来探讨一下等离子清洗机沿面放电这一放电类型。那么,首先什么是沿面放电呢?将下图所示的共轴DBD构型沿圆周展开成平面,就大致相当是一个共面的沿面放电结构,但是这样一来电极间的距离就会比传统的沿面放电装置大得多。让我们通过实验测试来了解一下石英管共轴DBD惰性气体等离子放电的基本电特性吧!

石英管阻挡等离子清洗机惰性气体放电有哪些基本特性?

选取的实验材料和测试数据如下:

(1)石英管,内径0.2cm、外径0.4cm;

(2)电极,宽度2cm,间距2cm;

(3)将高压电极置于气流的下游,距石英管口的距离约1cm;

(4)工作气体为纯度5N的惰性气体如He,流量设定为3L/min。

石英管阻挡等离子清洗机惰性气体放电有哪些基本特性?

随着施加的电压逐渐增大,电极间会产生放电,通过调节电压可以得到不同形态的放电电压与电流曲线。在仅改变外加电压幅值的情况下,其外加电压与放电电流的关系如图(a)~图(f)所示。

石英管阻挡等离子清洗机惰性气体放电有哪些基本特性?

下图为6种放电模式的对应等离子体羽流的数码照片,这些照片的曝光时间均为2s。接下来让我们详细看看这6种放电模式以及其各自的特点:

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