等离子体表面处理仪百科

等离子体表面处理仪也叫等离子清洗机、等离子表面处理机、plasma清洗机；用户对它的称呼非常多，它实际功能在于对物体表面处理，清洗、改性、刻蚀等；解决用户不同的表面处理需求。

等离子体表面处理仪应用

表面清洗：设备生产的等离子体内有大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，通过物理及化学反应，将表面污染物、杂质清除，达到表面清洗的作用；

表面改性：等离子体与物体表面发生反应，使得物体表面的化学键断裂，等离子体中的自由基反应生产新键，大大提供表面活性，有利于粘接、涂覆等工艺。

表面刻蚀：通入腐蚀性气体进行等离子体反应时，气体与物体表面反应生产挥发性物质，通过真空泵抽离，在表面形成需要的图案、形状，完成刻蚀效果。

等离子体表面处理仪参数