平面抛光机对功能陶瓷的超精密加工

功能陶瓷主要是指利用材料在电、磁、声、光、热等领域的直接或耦合效应，达到一定功能用途的陶瓷。目前，功能陶瓷种类繁多，平面抛光机功能陶瓷的超精密加工涉及半导体材料、磁性材料、基片陶瓷、功能玻璃材料、压电材料等。

大部分功能陶瓷是由晶体材料或粉末形成的，这些材料或粉末不能通过类似的金属铸件或塑料加工而形成。与普通金属材料相比，功能陶瓷具有弹性系数高、硬度高、加工变质层小、晶相稳定、耐蚀性好、适用于超精密平面抛光等特点。因此，为了制造高精度、高表面质量的功能陶瓷零件，必须进行超精密加工。

然后平面抛光机被以下功能陶瓷超精密加工方法：

1、非接触抛光

非接触抛光是指在抛光过程中，工件与抛光盘不接触，仅用抛光剂冲击工件表面，以获得被加工表面的结晶度和精确形状的抛光方法。去除量为几个到几十个原子级的抛光方法。。

2、界面反应抛光

当工件与磨料颗粒之间的摩擦界面处于高温高压状态时，很容易在工件表面形成一层非常薄的化合物。该反应物经抛光后容易去除，最终能有效地获得表面粗糙度低于纳米水平的理想表面。它是目前功能陶瓷和器件基板精密加工的主要方法。

3、电场和磁场抛光加工

电场和磁场抛光是利用和控制电场和磁场的强度，使磨料颗粒在工件上获得高形状精度、高表面质量和无晶体畸变表面的一种抛光方法。主要用于精密机械的信息设备和高性能元器件的加工。