微型传感器概念和分类

1．微传感器的概念
⑴就单一传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小。
⑵就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上而形成的集成的传感器。
⑶就传感器系统而言，微传感器是指传感系统中不但包括微传感器，还包括微执行器，可以独立工作，甚至由多个微传感器组成传感器网络，或者可实现异地联网。
2．微传感器的特点
⑴体积小、重量轻
⑵功耗低
⑶性能好
⑷易于批量生产、成本低
⑸便于集成化和多功能化
⑹提高传感器化智能化水平
3．微传感器分类
按照被测量的物理性质，将微型传感器分为化学微传感器、生物微传感器、物理微传感器等。