什么是谐振式传感器?谐振式传感器工作原理

谐振式传感器是直接将被测量的变化转换为物体谐振特性变化的装置，其工作原理基于谐振技术，利用谐振子的振动频率、相位和幅值作为敏感参数，达到对压力，位移，密度等被测参数的测量。
以机械式谐振传感器为例，振子的谐振频率 可近似用下式表示：

式中：──振子材料的刚度；──振子的等效振动质量。可见，振子的谐振频率与其刚度和等效振动质量有关。设其初始谐振频率为，当振子受力或其中的介质质量等发生变化时，振子的等效刚度或等效振动质量会发生变化，从而使其谐振频率发生变化。
要使振子产生振动，就要外加激振力(激振元件)，要测量振子的振动频率则需要拾振元件。由激振元件激发振子振动，由拾振元件检测振子的振动频率，另外将此信号经放大后输送到激振元件中形成闭环系统，以维持振子持续振动。图1给出了谐振传感器的基本结构图：

图1 谐振传感器的基本结构

图1中，由ERD组成的电—机—电谐振子环节，是谐振式传感器的核心；由ERDA组成的闭环自激环节，是构成谐振式传感器的条件；由RDO(C)组成的信号检测、输出环节，是实现检测被测量的手段。