中微公司获得政府补助累计约1.51亿元

9月16日，中微公司发布公告称，中微半导体设备（上海）股份有限公司自2021年2月23日至2021年9月15日，累计获得政府补助款项共计人民币15,061.37万元，其中，与收益相关的政府补助为人民币15,061.37万元，与资产相关的政府补助为人民币0万元。