MOCVD国产化加速 国际厂商强化性能应对

MOCVD国产化加速 国际厂商强化性能应对

——材料与装备技术会议观察

无论是中科宏微、还是广东昭信，再或是中微半导体，三家在CHINASSL2013之材料与装备技术分会上对MOCVD设备志在必得的开发投产之势，显然让国际厂商有了紧迫感。

“我们的愿望是向市场提供MOCVD傻瓜机，客户只要第一次了解设备如何使用，今后按照设定好的程序就能比较轻松地完成设备的使用，并实现了从生产到制造的完全标准化和100%国产化。”广东昭信半导体装备制造有限公司技术代表甘志银在台上的发声浑厚又清晰，“我们在研发过程采取了全程仿真设计，2005年开始研发，2009年投资试产，流程循环也已进行完毕，包括备受关注的温度如何保持稳定性和均匀性，都将在12月底彻底完成，他还表示，“现在共有五台新一代MOCVD设备正在装配生产。”