沈阳芯源微KrF涂胶显影机台入驻士兰集科

半导体产业网获悉，日前，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”）宣布，公司12寸KrF涂胶显影设备已入驻厦门士兰集科。

据悉，搬入仪式完成后，公司与士兰集科签署了战略合作协议。芯源微表示，此次，公司12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的交付，将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务，为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供更为安全的供应链保障。

官网显示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。