中微公司发布用于高性能MiniLED量产的MOCVD设备

　　今(17)日，中微公司宣布推出专为高性能MiniLED量产而设计的Prismo UniMaxTM MOCVD设备，该设备在帮助LED芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。

　　中微公司Prismo系列MOCVD设备已进入全球大多数领先的氮化镓基蓝绿光LED制造商，此次推出的Prismo UniMaxTM是中微公司Prismo系列MOCVD设备的最新产品，该设备在同一系统中可配备多达4个反应腔。Prismo UniMaxTM配置了创新的多区温度补偿加热系统，具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。

　　该设备还具有其他一些新颖特征，如喷淋头的优化设计实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升产能并降低成本。Prismo UniMaxTM MOCVD设备专为高产量而设计，具有业内领先的加工容量;通过石墨盘晶片排布的最优化，其加工容量可以延伸到生长164片4英寸或72片6英寸晶片。

　　中微公司Prismo UniMaxTM MOCVD设备已收到来自国内领先客户的订单。同时，中微公司正在与更多客户合作进行设备评估。Prismo UniMaxTM 设备拓展了中微公司的MOCVD设备产品线，亦为全球LED芯片制造商提供最新解决方案以应对MiniLED生产带来的挑战。