激光干涉仪工作原理

激光干涉仪是以激光波长为总长度计量检定基准的高精密检测仪器，伴随着干涉仪的出现，因其有着特性比较稳定、检验精确度高及数据信息稳定性好等优势，已变为高精密的机器设备生产制造中校正及应对的标准规定仪器设备，在机械设备、金属材料切割加工及航天航空等各个领域得到了普遍的运用。

激光干涉仪以光波为载体，有着测量精度高、精确测量速度更快、检测范围大、较高测速下屏幕分辨率高等特性，其光波波长可直接对米做好定义并追溯至国家行业标准。所以干涉仪广泛运用于数控车床、PCB钻孔设备、坐标测量仪、角位移传感器等精密仪器的质量管理与校正及其产品研发、高档设备制造等各个领域。

激光干涉仪发送单一工作频率激光束，激光束射进线形干涉镜后分为两个激光束射向反射镜片，这两个激光束再反射面回到分光镜，然后再次聚集回到激光干涉仪。若光程差并没有转变 时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两方面中间寻找到比较稳定的数据信号。若光程差有转变 时，这种转变 会被计算并用于精确测量两个光程中间的差别转变 。