高精度研磨机的自动检测系统

双面研磨机作为一种先进精密加工设备，已经越来越受到经济发达国家的重视；如何高效地获得光学材料表面良好的粗糙度、平面度和屈曲度已成为超精密研磨加工技术的重要研究方向。

压力气动加载精度、上下盘运行的稳定性和高精度的测量装置的精度是影响研磨设备性能的主要因素。

本文针对双面研磨控制系统，运用先进的计算机辅助设计技术，先进的监测技术，气压控制技术，过程控制技术和人性化的HMI人机界面，使不熟练的操作人员，亦能达到高精度加工水平。

抛弃很多厂家使用的PLC主控制器，使用工控机作为主控制器，增强设备的扩展性及尽可能的降低成本。

使用计算机软件对双面研磨加工过程进行数据参数设定、生产流程管理并进行进行监测与控制，可以方便工厂后期的组网和设备管理，设备维护，实现工厂设备的全监控。

使用VB.NET软件平台和MS-SQL数据库，实现图形化界面功能指标，高精度的位移传感器，高精度气压压力传感器，高精度数字比例阀组成联合控制系统，实现该机的自动加工及控制。

高精度双面研磨机的自动检测系统主要内容如下

1、工控机软件控制系统研究；

2、定尺寸磨削及定时间磨削控制方式研究。使用高精度的高度计(分辨率0.52μm,精度2μm)来实时监测研磨工件的尺寸，从而保证工件的尺寸精度；

3、行星运动控制研究及算法。使研磨过程中工件运动轨迹的可变，工件放在游轮内,游轮成为太阳轮和内齿圈所构成差动轮系中的行星齿轮；

4、气动加压控制研究。在下气缸加装高精度气压压力传感器时时检测下气缸压力,并将压力信号反馈给软件控制系统构成压力的闭环控制，来保证能够精确地控工件的压力，并保持压力的稳定性；

此外还对机床的砂浆液控制，排液控制，修整控制等自动控制系统；经过设备试运行，证明该设备控制系统的整体状况良好，运行稳定,各部分子系统工作正常，通过实验和用户的长期使用，对双面研磨机加工蓝宝石材料的加工质量、加工效率、加工精度和加工成本进行检验。

高精度数控双面研磨机是电子器件基片（蓝宝石衬底、多晶硅单晶硅片、先进陶瓷基片）和智能数码产品液晶玻璃片的精密数控加工装备，市场需求量很大。目前国内双面研磨机存在速度调节困难、工艺适应范围窄等缺陷，很难满足光学玻璃、LED蓝宝石基片等产品的加工要求，这些产品的加工装备主要依赖进口。

本文主要以高精度双面研磨机的自动检测系统为例说明介绍的。