晶圆等离子清洗机百科

晶圆在半导体中的重要性大家应该都知道，随着工艺以及技术的不断进步，对晶圆的需求以及要求越发严格，今天我们来聊聊晶圆等离子清洗机能够发挥什么样作用？

1、晶圆等离子清洗机

为了符合晶圆生产工艺需求制作的设备，在设计、应用等方面需要满足晶圆工艺的特殊需求；如：晶圆是圆形的，我们在腔体设计及工作区域设计需要考虑到这一点；晶圆表面清洁度要求，对整个处理环境有要求等等；所以晶圆等离子清洗机与常规的等离子清洗机设备是不一样的。