真空在线等离子清洗机

真空在线等离子清洗机工作原理：

在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用射频源产生的高压交变电场将工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应，产生挥发性物质，通过真空泵排出去。

真空在线等离子清洗机应用领域：

1. 半导体行业：设备广泛应用于半导体行业中，用于清洗半导体晶片的表面，去除氧化层和杂质，提高晶片的质量和稳定性。

2. 光电行业：可以清洗光电器件的表面，去除污染物和氧化层，提高器件的透光性和光电转换效率。