甘志银:以技术为支撑,推进MOCVD设备国产化

时间:2021-05-24作者:佚名

他身为华中科技大学机械科学与工程学院的教授,在半导体工艺设备设计与制造等方面造诣颇深;他自认为是MOCVD设备行业的“后来者”,却带领研发团队早已展开了创新研发之路,并拥有了多项MOCVD核心专利;他是国产MOCVD设备产业化的推动者,率领企业将国产MOCVD设备成功交付企业使用......他就是广东昭信半导体装备制造有限公司(以下简称“昭信”)的总经理甘志银先生。

在中国国际半导体照明论坛(CHINASSL2013)期间,广东昭信半导体装备制造有限公司总经理甘志银先生受邀做客中睿照明网“光友汇”访谈直播间,与大家分享了他在MOCVD设备国产化过程中摸索出的很多值得业界借鉴的经验。

记者:国产MOCVD设备最难的是第一台设备的交付,在2013年8月昭信已经将第一台设备交付企业使用,您能简单介绍一下广东昭信半导体的基本情况,并分享一下成功交付第一台设备的经验吗?

甘志银:昭信半导体装备有限公司是2009年成立的,我们专业做LED设备,实际上,包括我在内的整个研发团队都是来自于华中科技大学。

至于经验,实际上在2009年进行产业化时,我们的设备就已经制造出来了,但当时一直没有提交给企业使用,原因是因为稍微不慎就可能出现问题。比如,设备一旦到企业里使用的不是很好,就不会得到大家的认可,就容易形成“见光死”。尤其是对于提供大型设备的公司来说,对产品的了解和需求需要有一个发展过程。首先,我们把产品做出来以后,通过三年左右的时间对设备进行一步步改进,对设备的可靠性进行认证,并完全按照国外大型设备验收程序一步步进行验收,相比我们的竞争对手和同行,我们可能在这方面花的时间多一些。

其次,我们在与客户沟通和交付使用时能够站在客户角度考虑问题。比如他们关心什么问题,客户提出问题出来,我们就在企业内部把这些问题一一解决,直到客户已经挑不出毛病的时候才交付企业使用。再者说,即便有这样一个沟通交流过程,企业可能还存在担心。对此我们就许下承诺,企业在使用设备过程中,如果对企业造成风险,我们承担一切的责任和风险。我们敢许下这样的承诺,正是因为我们对自己的产品有信心。

记者:您对自己的设备信心特别足,那昭信的MOCVD设备特点和优势是什么?目前面临的问题有哪些?

甘志银:因为国内MOCVD设备是站在国际企业肩膀上做的,我们甚至会站在客户角度,对客户的特别需求进行改进。面临的问题主要是在MOCVD设备推广过程中,由于LED行业正在进行调整,给我们设备的推广增加了一定难度。但是只要客户通过验证并使用过我们的设备,相信这些问题都会一一消失。

与国际MOCVD设备相比,国产MOCVD设备最主要是价格优势。因为只要国内实现国产化,就应该在成本上具有绝对优势。MOCVD在推广过程中我们不赞成进行价格竞争,国产MOCVD设备在一千万以下,对工厂造成的购置成本压力并不是很大。我们要提高产品良率,同时不需要过多的人工干预和维护,企业的成本压力反而来自于其它方面。比如Veeco设备在市场上大行其道,用动态成本进行统计,一片外延片价格大概是170-180元,相对现在市场价在230元以上,大概有50-60元的盈利空间,对于设备购置成本来说大概有10元。相对于人力和设备维护成本开支,国产设备的购置成本就不是关键。

另外,目前国外MOCVD设备对技术人员要求特别高,核心技术人员人工成本也很高。而我们的设备高中生就能轻松操作,并且不会出现安全问题。我希望未来MOCVD设备应该是“傻瓜机”的概念,如果一直高高在上,这样走向照明企业就很困难。

记者:目前在国家和地方政府的大力支持下,LED产业取得了很大发展,但也造成了产能过剩的局面,昭信是怎样应对市场变化的?

甘志银:在国家和地方政府的扶持下,LED产业得到飞速发展,同时也面临产能过剩问题。虽然LED照明前景很好,但是市场需要一步步推进,成本需要一步步消化。包括MOCVD设备在内,2010-2011年一下从300多台增长到700多台,增长速度过快导致目前产业发展的困局。另外,LED应用也在不断地推动这个产业往前进,并在推的过程中由于企业太多,鱼目混杂,大家会考虑LED产品是不是好产品。

尤其MOCVD设备企业,风险很大的一块就是技术的跟风性。从2005年国外30片机,2007年50片机、55片机,然后又到69片机,企业疲于奔命不断的跟风。由于企业不断烦的跟风就造成两个不平等,一个是政府的补贴造成企业之间的不平等,一个是市场的设备更新造成了企业发展的不平等。后来投资者用同样的钱甚至用更少的钱买了更大的产能,造成行业里看起来买了很多台设备,但是很多台设备都是2007年、 2009年以前淘汰的废品。对于MOCVD设备来说,国内MOCVD设备从统计数字看好象过剩,实际上不是过剩,只是大家都在思考LED整个产业到底应该怎么走,现在还没有形成对它强烈的市场需求,这也正是我们所面临的发展困局。

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