导电电阻率四探针使用方法技术使用说明书

导电电阻率四探针使用方法技术使用说明书

注意！测量状态中，电流量程默认为自动方式，也可调整为手动方式，手动方式下，电流量程适合的，仪器会稳定显示数据，电流量程不适合的会给出超量程或欠量程闪烁提示，对于超量程，说明电流过大，要调到较小电流档；对于欠量程，说明电流过小，要调到较大电流档。

本仪器工作条件为：

对于电阻器类样品，用四端子测试线按照图5-1连接好样品，对于半导体材料，测试前表面应进行必要的处理。如图5-2，对于硅材料要进行喷砂或清洁处理，对于薄膜类的要保持表面清洁，必要的要进行清洁。样品放在平整的台面上。将测试探头的插头与主机的输入插座连接起来，连接好探头和主机。将电源开关置于开启位置，数字显示亮。仪器醉好预热15分钟以上，增加读数稳定性。

误差：±0.2%FSB±2LSB

量程： 20.00mV

误差：±0.2%FSB±2LSB

仪器具有测量范围宽、精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、外形美观、使用简便等特点。

技术参数测量范围、分辨率（括号内为拓展量程，可定制）

有选配的型号确定，详见《不同半导体材料电阻率/方阻测试的四探针探头和测试台选配方法》

显示: 4位数字显示，小数点自动显示

在设定模式下（设定完毕，保存好数据后），选择测量类别（电阻率ρ、方块电阻（薄片电阻率）R口或体电阻R中三选一，切换仪器到“测量”模式，窗口左侧“测量”模式灯亮。电阻测量,注意良好接触，电压测试端在内侧；半导体参数测试，将探针与样品良好接触，注意压力要适中；由数字显示窗直接读出测量值。

棒状、块状样品电阻率测量，符合半无穷大的边界条件:

SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

BEST-300C测试仪能够测量半导体材料体电阻率ρ、方块电阻（薄片电阻率）R口以及体电阻R，测量时需调整相应的修正系数和选择相应的功能。

外形尺寸：

概述BEST-300C型材料电导率测试仪是运用四探针测量原理测试试导体、半导体材料电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。

测量数据

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

大分辨力：1.0µV

当薄片厚度与针距比W/S<0.5时,可以先测方阻，再人工计算厚度和位置形状修正。

电源：功 耗：< 15W，输入:220V±10% 50Hz±2%

本产品不但提供了电阻率ρ、方块电阻R口以及体电阻R测试的基本修正系数设定，还提供了产品厚度G、外形和测试位置的修正系数D设定，极大的提高了测试精度。测试类别的快捷选择方式，方便了用户同时测试多个参数，提高测试效率。

设定修正系数注意事项：参照表5.1和附表1和附表2

数据输入规则说明及示例

设定R=1.000。，其他可以忽略。只读结果。

四探针测试探头：

直径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

修正系数

相对湿度： ≥60%